注1 ：換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（20℃ 1個(gè)大氣壓（101kPa）、相對(duì)濕度65％Rh）下的體積流量

注2 ： 請(qǐng)使用不含氯、硫磺、氧等腐蝕成分的干燥氣體，不含灰塵及油霧的潔凈氣體。使用壓縮空氣時(shí)，請(qǐng)使用JIS B 8392-1:2012 等級(jí) 1.1.1～1.6.2的清潔空氣。來(lái)自空壓機(jī)的壓縮空氣含有冷凝水（水、氧化油、異物等）。為了保持本產(chǎn)品的功能，請(qǐng)?jiān)诒井a(chǎn)品的一次側(cè)（上游）安裝過(guò)濾器、空氣干燥器（低壓力露點(diǎn)10℃以下）及精密過(guò)濾器（大油份濃度0.1mg/m3）后使用。（請(qǐng)參閱第72頁(yè)的推薦回路。）氧氣用為型。為了防止火災(zāi)，在已經(jīng)通入氧氣以外的流體時(shí)，請(qǐng)勿再次通入氧氣。

注3 ：精度以本公司的標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)為基準(zhǔn)，并不表示精度。精度±3%F.S.不包括重復(fù)精度、溫度特性、壓力特性。請(qǐng)根據(jù)使用環(huán)境、使用條件另行考慮。

注4 ：短期的重復(fù)精度。不含經(jīng)時(shí)變化。（詳情請(qǐng)確認(rèn)產(chǎn)品規(guī)格書(shū)。）

注5 ：實(shí)際響應(yīng)時(shí)間根據(jù)配管條件的變化而改變。

注6 ： 模擬輸出電壓輸出型的輸出阻抗約為1kΩ。連接負(fù)荷的阻抗較低時(shí)，輸出值的誤差會(huì)變大。請(qǐng)?jiān)趯?duì)連接負(fù)荷的阻抗下的誤差進(jìn)行確認(rèn)的基礎(chǔ)上使用。

注7 ：電壓輸出型與電流輸出型的電源電壓規(guī)格不同，敬請(qǐng)注意。

注8 ：連接DC24V、未連接負(fù)荷時(shí)的電流。消耗電流因負(fù)荷的連接狀態(tài)而異，敬請(qǐng)注意。

注9 ：本產(chǎn)品的保護(hù)回路僅對(duì)特定的誤連接、負(fù)荷的短路有效，并不確保能夠應(yīng)對(duì)各種誤連接。

注10 ： 本產(chǎn)品對(duì)氣流引起的熱分布變化進(jìn)行測(cè)量。縱向安裝時(shí)，可能因?qū)α鞯挠绊懚鴮?dǎo)致熱分布變化、零點(diǎn)偏移。注11 ：配管條件可能會(huì)影響精度。為提高測(cè)量精度，請(qǐng)?jiān)O(shè)置10倍于配管內(nèi)徑的直管部。 500L/min、1000L/min型號(hào)請(qǐng)使用內(nèi)徑9mm以上的配管。如為9mm以下，精度可能會(huì)變差。

詳細(xì)資料請(qǐng)聯(lián)系我司